3D IC關鍵製程設備技術發展趨勢之研究 Research on the technological developing trends of 3D IC key equipment /

• 作者：陳慧娟作
• 出版者：金屬中心
• 出版地：高雄市 :
• 語文：中文
• 叢書名：經濟部技術處產業技術知識服務計畫
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• ISBN/ISSN/ISRC：9789865662141 (電子資源) :
• 作者：陳慧娟
• 索書號：484.51