圖解半導體製造裝置 /

• 作者：菊地正典監修 ; 張萍譯
• 出版者：世茂
• 出版地：臺北縣新店市 :
• 叢書名：科學視界
• ISBN/ISSN/ISRC：9789577769404 平裝
• 作者：張萍;菊地正典
• 索書號：448.65