Design and manufacturing of active microsystems

• 作者：edited by Stephanus Buttgenbach, Arne Burisch, Jurgen Hesselbach.
• 出版者：Springer-Verlag Berlin Heidelberg
• 出版地：Berlin, Heidelberg :
• 語文：英語
• 叢書名：Microtechnology and MEMS,
• 電子資源：http://dx.doi.org/10.1007/978-3-642-12903-2
• ISBN/ISSN/ISRC：9783642129032 (electronic bk.) ; 9783642129025 (paper)
• 作者：Buttgenbach, Stephanus.;Burisch, Arne.;Hesselbach, Jurgen.
• 索書號：621.381