The chemistry of Metal CVD /

• 作者：edited by Toivo Kodas and Mark Hampden-Smith
• 出版者：VCH
• 出版地：Weinheim ; New York :
• 語文：英語
• ISBN/ISSN/ISRC：1560818131 :
• 作者：KodasToivo;Hampden-Smith Mark J
• 索書號：621.3815/2 621.38152